초순수제조장치

전기적비저항(Electric Resistlvity)의 측면에서 볼때 최상치 18.3MEGA.ohm.cm의 순도를 가진 물을 말한다.
초순수의 사용에 따라서 TOC, PARTICLE, 미생물 미립입자를 완전제거하는 것으로 그관리치는 ppm에서 ppb, ppt로 관리하는 것을 원칙으로 설계시공한다.

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